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捷克泰思肯聚焦離子束可變真空掃描電鏡 LYRA 3 XMU

聚焦離子束可變真空掃描電鏡 LYRA 3 XMU

分辨率高真空模式(二次電子) 低真空(背散射電子) (低真空二次電子)	1.2nm(30kV); FIB <5nm(30kV) 2.0nm(30kV) 1.5nm(30kV)
工作真空低真空模式電子槍真空離子槍真空	7-150Pa <3×10^-7 Pa <5×10^-6 Pa
電子光學工作模式	分辨率/景深/視野/大視野/電子衍射花樣
放大倍率	2x-1,000,000x(FE-SEM); 150x-1,000,000x(FIB)
加速電壓	200V至30KV(FE-SEM);0.5KV至30KV(FIB)
電子槍	高亮度肖特基(FE-SEM);液態金屬镓離子源(FIB)
探針電流	2pA至100nA(FE-SEM); 1pA至40nA(FIB)
掃描速度	從20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或連續調整
聚焦窗口	形狀、尺寸和位置連續可調
掃描特性	動態聚焦，點和線掃描，傾斜校正，實時三維圖像
圖象尺寸	最大可達8192×8192像素，圖象比例可選1：1、4：3或2：1
顯微鏡控製	通過計算機（鍵盤、鼠標、軌跡球）操作LYRA TC軟件，所以顯微鏡的功能均可在Windows^TM平台下實現
自動程序	專利的實時電子束追蹤技術自動最優化電子束，束斑直徑和束流連續可調，自動聚焦&消象散，自動調整對比度&亮度，自動調整掃描速度（根據信噪比），打開/關閉電子槍，電子槍合軸，透鏡&光闌對中，真空控製，加速電壓的補償，灰度級調整
遠程控製	通過TCP/IP

樣品室

⁺可根據客戶需求調整接口數量和位置。

樣品載台

類型	全電腦化優中心
移動範圍	X=130mm —— 馬達驅動 Y=130mm ——馬達驅動 Z=100mm —— 馬達驅動旋轉：360°連續可調——馬達驅動傾斜：-30°到+90°——馬達驅動
樣品高度	最大139mm

軟件

測量軟件

圖象操作

圖象處理

三維掃描

硬度測量

多圖校正

目標麵積

打印放大倍率

關機定時器

公差測量

形態學

顆粒度分析

自動截圖

圖像觀測

鼠標連接

●

○

●標配 ○選配