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捷克泰思肯聚焦離子束可變真空掃描電鏡 LYRA 3 XMU

聚焦離子束可變真空掃描電鏡 LYRA 3 XMU
分辨率
高真空模式(二次電子)
低真空(背散射電子)
(低真空二次電子)

1.2nm(30kV); FIB <5nm(30kV)
2.0nm(30kV)
1.5nm(30kV)
工作真空
低真空模式
電子槍真空
離子槍真空

7-150Pa
<3×10-7 Pa
<5×10-6 Pa
電子光學工作模式 分辨率/景深/視野/大視野/電子衍射花樣
放大倍率 2x-1,000,000x(FE-SEM); 150x-1,000,000x(FIB)
加速電壓 200V至30KV(FE-SEM);0.5KV至30KV(FIB)
電子槍 高亮度肖特基(FE-SEM);液態金屬镓離子源(FIB)
探針電流 2pA至100nA(FE-SEM); 1pA至40nA(FIB)
掃描速度 從20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或連續調整
聚焦窗口 形狀、尺寸和位置連續可調
掃描特性 動態聚焦,點和線掃描,傾斜校正,實時三維圖像
圖象尺寸
 
最大可達8192×8192像素,圖象比例可選1:1、4:3或2:1
顯微鏡控製 通過計算機(鍵盤、鼠標、軌跡球)操作LYRA TC軟件,所以顯微鏡的功能均可
在WindowsTM平台下實現
自動程序
專利的實時電子束追蹤技術自動最優化電子束,束斑直徑和束流連續可調,自動聚焦&消象散,自動調整對比度&亮度,自動調整掃描速度(根據信噪比),打開/關閉電子槍,電子槍合軸,透鏡&光闌對中,真空控製,加速電壓的補償,灰度級調整
遠程控製 通過TCP/IP
樣品室
內部尺寸 300mm寬×330mm深
門寬 280mm寬×310mm深
接口數量 13+
樣品室減振方式 內置主動式電磁減振
+ 可根據客戶需求調整接口數量和位置。
樣品載台
類型 全電腦化優中心



移動範圍
X=130mm —— 馬達驅動
Y=130mm ——馬達驅動
Z=100mm —— 馬達驅動
旋轉:360°連續可調——馬達驅動
傾斜:-30°到+90°——馬達驅動
樣品高度 最大139mm
軟件
測量軟件
圖象操作
圖象處理
三維掃描
硬度測量
多圖校正
目標麵積
打印放大倍率
關機定時器
公差測量
形態學
顆粒度分析
自動截圖
圖像觀測
鼠標連接
●標配 ○選配

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